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本发明公开了一种基于Nataf变换的MEMS器件不确定性分析方法，包括如下步骤：根据得到的工艺偏差的多维离散数据，建立高斯混合模型，得到其联合密度函数以及各边缘累积分布函数；对高斯混合模型进行Nataf变换；分析随机配点法在不同展开阶数下所需要消耗的时间以及相应的精度，对网格点进行Nataf逆变换，得到适用于该高斯混合模型的多维配置点；根据具体器件，定义输出参数，求解展开式系数；根据计算结果，得到输出参数的数值信息。本发明不但运算速度快、结果精度高，而且可以有效地完成关联工艺偏差下的MEMS器件
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 110399654 A
(43)申请公布日
2019.11.01
(21)申请号 20191
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