一种光栅位移测量装置.pdfVIP

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  • 2023-05-16 发布于四川
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本发明涉及光学检测技术领域,尤其是指一种光栅位移测量装置,包括光栅尺和读数头,所述光栅尺和所述读数头之间能够发生相对运动;所述读数头包括外壳,所述外壳的中部设置有柱透镜,所述柱透镜的后侧设置有光电二极管,在所述光电二极管的周围设置有两个以上的光源。通过设置两个以上的光源,光电二极管将每个光源的信号进行比对之后,再将最终的信号输出,提高测量精度高;此外,当光栅尺上因为污渍、刮痕、拼接间隙造成的某一光源的信号丢失时,其他的光源的信号仍然有效,可以保证光栅位移测量装置正常工作,延长整个光栅位移测量装置

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114777655 A (43)申请公布日 2022.07.22 (21)申请号 202210488019.X (22)申请日 2022.05.06 (71)申请人 东莞市智赢智能装备有限公司 地址

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