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- 2023-05-16 发布于四川
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本发明公开了一种大尺寸铌酸锂晶片的加工方法，包括以下步骤:步骤1：通过制备富锂多晶料、熔化、提拉生长工艺，得到大尺寸铌酸锂晶体；步骤2：将切割后的大尺寸铌酸锂晶片研磨，双面减薄，得到表面具有粗糙结构的大尺寸超薄铌酸锂双面减薄片；然后，置于抛光装置中进行处理，得到大尺寸铌酸锂晶片，本发明通过制备富锂多晶料、熔化、提拉生长、研磨，双面减薄和抛光等工艺制备得到大尺寸铌酸锂晶片；该大尺寸铌酸锂晶片的加工方法具有工艺简单，一次抛光，批量生产，抛光效率高，生产的铌酸锂晶片表面平坦度高。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 114775040 B
(45)授权公告日 2023.03.31
(21)申请号 202210488874.0 (51)Int.Cl .
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