一种基于平面光波导的微腔光学滤波器.pdfVIP

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2023-05-16 发布于北京
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一种基于平面光波导的微腔光学滤波器.pdf

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一种基于平面光波导的微腔光学滤波器，包括衬底、脊形芯层光波导、平面芯层光波导以及在平面芯层光波导内的四个反射曲面镜；所述脊形芯层光波导和平面芯层光波导设置在衬底上表面，脊形芯层光波导上设有输入端口、下降端口和直通端口，输入端口的宽度和输入光波的宽度一致，直通端口用于滤波后的目标光波输出，下降端口用于滤波后其他波长的光波输出；所述四个反射曲面镜构筑成平面微纳微腔，使得通过脊形芯层光波导进入平面芯层光波导的光波在平面微纳微腔内被循环反射并发生共振实现滤波。本发明通过平面芯层光波导和脊形芯层光波导的配

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114755756 A (43)申请公布日 2022.07.15 (21)申请号 202210442144.7 (22)申请日 2022.04.25 (71)申请人季华实验室地址 528200