一种宽度可调的宽带束离子注入机.pdfVIP

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2023-05-16 发布于四川
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一种宽度可调的宽带束离子注入机.pdf

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本发明提出一种宽度可调的宽带束离子注入机，包括离子束发生组件、离子束分析组件、离子束汇聚组件、离子束发散组件及离子束调节组件，离子束发生组件产生带状离子束，离子束分析组件与离子束发生组件配合，由离子束分析组件对离子束发生组件产生的离子束进行分析，离子束汇聚组件与离子束分析组件配合，由离子束汇聚组件对分析后的离子束进行分区汇聚，形成若干相互分离的离子束，离子束发散组件与离子束汇聚组件配合，由离子束发散组件对分区汇聚后的离子束进行发散，使相邻离子束相互交叠，离子束调节组件与离子束发散组件配合，由离子

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114783852 A (43)申请公布日 2022.07.22 (21)申请号 202210341801.9 (22)申请日 2022.04.02 (71)申请人浙江中科尚弘离子装备工程有限公