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本发明公开了一种复合纳米材料阵列气敏传感器及其制备方法，包括多孔硅阵列，多孔硅阵列包括硅板和若干个多孔硅片，各多孔硅片相互平行且底面均固定于硅板的上表面，多孔硅片的正反面均设有多个凹槽，各凹槽内均附着有由栗壳状ZnO纳米材料，栗壳状ZnO纳米材料上附着有WO3纳米材料；选择硅片做基底材料，能提高对气体的灵敏度，用氧化锌做催化剂，更加安全和环保；利用氢氟酸刻蚀硅片可以对硅片进行良好的清洗功能，使得硅片更加的干净和平滑；利用水热法产生栗壳状氧化锌纳米材料，可以方便有效的控制反应时间和晶体的生成情况，
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114778615 A
(43)申请公布日 2022.07.22
(21)申请号 202210468268.2
(22)申请日 2022.04.29
(71)申请人 遵义师范学院
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