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- 2023-05-17 发布于四川
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本发明提供一种酸性蚀刻液循环利用装置及其使用方法，涉及酸性废液的再生与利用技术领域，包括蚀刻机，所述蚀刻机的表面设置有溢流管道，所述溢流管道的输出端设置有引流管A，所述引流管A的一端连通有废液存储罐，所述废液存储罐的输出端装有引流管B。本发明中，在蚀刻过程中，采用的为单液型药水体系，置换该体系药水后，蚀刻性能有所上升，同时很好的解决了氯气溢出的问题，生产车间环境得到极大改善，同时通过电解装置以及再生子液调配罐可以对蚀刻药水进行回收再利用，提高了蚀刻药水的利用率，降低了环境污染，而通过废气处理步骤
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114807939 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210295625.X B01D 53/68 (2006.01)
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