1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种石墨腔内表面处理方法、石墨腔薄板及石墨腔.pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约1.52万字
  • 约 11页
  • 2023-05-17 发布于四川
  • 举报

一种石墨腔内表面处理方法、石墨腔薄板及石墨腔.pdf

    本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种石墨腔内表面处理方法、石墨腔薄板及石墨腔，本申请提出的石墨腔内表面处理方法，用于处理石墨腔内表面的石墨薄板，包括以下步骤：将所述石墨薄板作为阳极，Nb金属板作为阴极放入盛有NaCl‑NbCl5混合材料的电解槽中；在惰性气体氛围下将NaCl‑NbCl5混合材料加热至900℃得到NaCl‑NbCl5熔融电解液，并向阳极和阴极加入5V的工作电压，直至所述石墨薄板表面生成NbC层，本申请简化了石墨腔内表面的处理工艺，降低了处理成本，同时有效减少了杂质结晶的生成

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114808068 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210191513.X C25D 5/54 (2006.01) (22)申请日 2022.03.0

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >