阵列基板、其制作方法及显示面板.pdfVIP

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2023-05-17 发布于四川
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本发明提供了一种阵列基板、其制作方法及显示面板，阵列基板包括：衬底；第一绝缘层，设置于衬底上；第一有源层，设置于第一绝缘层上；保护层，设置于第一有源层上；第一栅极，设置于第一有源层上，且与保护层间隔设置；第二绝缘层，设置在第一绝缘层、第一有源层、保护层以及第一栅极上；以及第一源电极和第一漏电极，第一源电极和第一漏电极通过设置在第二绝缘层中的第一过孔与保护层连接；其中，保护层的材料包括氧化铟锡或铟镓锌氧化物。通过在第一有源层上设置透明的保护层，可以在后续形成第一过孔时对第一有源层进行保护，从而提升

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823734 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210484423.X (22)申请日 2022.05.06 (71)申请人广州华星光电半导体显示技术有限