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- 2023-05-17 发布于四川
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本发明公开了一种微型回转式谐振结构的高精度加工系统和方法，系统包括：飞秒激光器、光路模块、多轴运动平台、微调装置、机器视觉高倍成像模块、图像处理程序、加工路径规划模块。所述飞秒激光器配合光路模块可实现对微型器件的高精度加工；所述多轴运动平台可承载样品与激光焦点作相对运动，实现复杂轮廓形状的三维加工；所述微调装置可实现微型回转式谐振结构在两个水平方向的距离微调，配合视觉成像模块可实现样品精准定位。本发明也公开了一种微型回转式谐振结构的高精度加工方法，在上述系统的基础上，通过将机器视觉高倍成像模块与
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114985908 A
(43)申请公布日 2022.09.02
(21)申请号 202210818088.2
(22)申请日 2022.07.13
(71)申请人 中南大学
地址 410083 湖
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