一种在线晶圆检测装置和控制系统.pdfVIP

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2023-05-17 发布于北京
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一种在线晶圆检测装置和控制系统.pdf

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本发明公开了一种在线晶圆检测装置和控制系统，该装置包括视觉检测工位，所述的视觉检测工位包括支架、投屏和工业相机，所述支架从上往下分别设有光源、半透半反镜和承片台，所述投屏设置在支架一侧，工业相机设置在投屏后方；所述的控制系统包括图像采集系统、图像处理系统、动作执行机构，本发明设计了在线晶圆检测装置和控制系统，降低晶圆崩裂的风险，提高晶圆加工的质量，同时可以减少检测人员的操作难度，提高检测效率。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114812451 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210448344.3 (22)申请日 2022.04.26 (71)申请人安徽富乐德长江半导体材料股份有