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一种混合超导ECR离子源装置.pdfVIP

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  • 2023-05-17 发布于四川
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一种混合超导ECR离子源装置.pdf

    本发明涉及一种混合超导ECR离子源装置，包括：等离子体放电室以及固定安装在所述等离子体放电室外侧的注入系统、磁体系统和束流引出系统；所述注入系统与所述等离子体放电室的注入端密封连接，用于向所述等离子体放电室内提供微波功率和被电离材料；所述磁体系统包括依次套设在所述等离子体放电室外侧的多极永磁体和超导线圈磁体，所述超导线圈磁体用于形成轴向磁镜场，所述多极永磁体用于形成径向磁镜场；所述束流引出系统密封连接在所述等离子体放电室的引出端，用于将形成的高电荷的离子体束流引出。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114828382 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210383314.9 (22)申请日 2022.04.13 (71)申请人 中国科学院近代物理研究所 地址 7

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