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一种去除微小颗粒的冷冻清洗方法及装置.pdfVIP

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  • 2023-05-17 发布于四川
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一种去除微小颗粒的冷冻清洗方法及装置.pdf

    本申请提供了一种去除微小颗粒的冷冻清洗方法及装置，方法包括：将待清洗基板冷却至一定温度；对待清洗基板喷淋超纯去离子水形成水膜；存在颗粒处先开始结冰形成冰颗粒，冰颗粒上浮脱离滞留层；喷淋超纯去离子水将冰颗粒融化并旋干待清洗基板。装置包括：可旋转平台，用于承载待清洗基板；冷却构件，设置于可旋转平台内，且位于待清洗基板的下方，冷却构件用于对待清洗基板进行冷却；可移动手臂，位于可旋转平台的上方，可移动手臂上设有喷嘴，喷嘴的喷射方向朝向待清洗基板，可移动手臂带动喷嘴对待清洗基板喷淋超纯去离子水。通过本申请

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823283 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210270342.X (22)申请日 2022.03.18 (71)申请人 广州新锐光掩模科技有限公司 地址

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