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- 2023-05-17 发布于四川
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本公开提供了一种分层式大长径比磁性纤毛传感器的制备方法,包括:S1,将PDMS溶剂与固化剂按照预置比混合后形成第一试剂;将部分第一试剂去除气泡并固化得到PDMS薄膜层;在部分第一试剂中按照第二预置比加入磁性颗粒进行混合后倒入包括PDMS薄膜层的器皿内,并固化得到含磁粉的PDMS薄膜层;S2,将双层薄膜层进行磁化使含磁粉的PDMS薄膜层转换为磁性薄膜层;S3,采用空心金属管竖直穿过磁化后的双层薄膜层;S4,在磁敏传感器上旋涂第一试剂;S5,将包括纤毛的金属管放置在磁敏传感器上,并进行加热使磁敏传感
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114812875 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210321081.X
(22)申请日 2022.03.29
(71)申请人 中国科学院空天信息
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