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一种侧向耦合的光电探测器.pdfVIP

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  • 2023-05-17 发布于四川
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一种侧向耦合的光电探测器.pdf

    本发明公开一种侧向耦合的光电探测器，包括衬底层、波导层、吸收层和电极层。波导层设置在衬底层之上，波导层的上表面设置多条平行且等距的方形沟槽，每两条沟槽之间形成方形凸起的波导柱，沟槽的宽度等于波导柱的宽度，波导柱的宽度匹配一个或多个耦合周期。重复的沟槽和波导柱形成楔形结构。吸收层设置在波导层之上，临近于楔形结构的一侧。吸收层和波导层之间形成异质结。吸收层构造成在光入射时产生载流子。本发明的光电探测器，光入射方向垂直于波导柱方向，光在波导柱侧面耦合，侧向耦合避免了光场在传输方向上锗吸收层周期性分布的

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823929 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210236473.6 (22)申请日 2022.03.10 (66)本国优先权数据

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