一种用于检测玻璃基板表面异物的装置.pdfVIP

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2023-05-17 发布于北京
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一种用于检测玻璃基板表面异物的装置.pdf

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本发明公开一种用于检测玻璃基板表面异物的装置，包括：支架，所述支架沿垂直于玻璃基板输送方向设置，且位于玻璃基板的下方；导轨，所述导轨设置为多个，均沿玻璃基板输送方向设置于所述支架上；滑动部，所述滑动部设置为多个，所述多个滑动部沿垂直于玻璃基板输送方向并排设置，每个所述滑动部均包括档杆和固定连接于所述档杆两端的滑块，所述滑块与所述滑轨滑动配合连接，以使所述档杆能够沿玻璃基板输送方向滑动，所述档杆的顶面与玻璃基板的表面之间具有间隙；以及检测单元，所述检测单元用于检测所述档杆的位移。本发明装置中可滑动

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114813562 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210438638.8 (22)申请日 2022.04.25 (71)申请人京东方科技集团股份