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应用于相位快速提取的高精度干涉检测系统与方法.pdfVIP

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  • 2023-05-17 发布于四川
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应用于相位快速提取的高精度干涉检测系统与方法.pdf

    本发明提供一种应用于相位快速提取的高精度干涉检测系统与方法，系统包括：激光光源系统、相位调制系统、图像采集系统、计算机控制系统、非偏振分束器和光学衰减片；激光光源系统包括固体激光器、可旋转偏振镜和准直扩束镜；相位调制系统包括带通滤光片和液晶空间光调制器；图像采集系统包括成像透镜和CCD图像采集装置；固体激光器、可旋转偏振镜、准直扩束镜、非偏振分束器、带通滤光片和液晶空间光调制器依次排布；检测试件、光学衰减片、非偏振分束器、成像透镜和CCD图像采集装置依次排布。本发明的一种应用于相位快速提取的高精

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114812431 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210241232.0 (22)申请日 2022.03.11 (71)申请人 上海电机学院 地址 200240

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