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一种化学供应系统N2加湿装置的系统.pdfVIP

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  • 2023-05-17 发布于四川
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一种化学供应系统N2加湿装置的系统.pdf

    本发明公开了一种化学供应系统N2加湿装置的系统，包括化学罐和加湿罐，所述化学罐位于加湿罐的一侧，所述化学罐和加湿罐的顶部均连通有若干连接结构，所述加湿罐的顶部从左至右依次通过连接结构连通有氮气进管、去离子水进管和氮气连接管。本发明通过在氮气供应系统内部增加氮气加湿器装置，在氮气注入化学罐之前，使氮气充分加湿，避免吸收化学罐内部的水分，导致浓度变化，该化学供应系统N2加湿装置的系统具备实现氮气注入化学罐保持压力平衡的同时，且不影响化学罐药液的浓度的优点，在实际使用过程中，其结构简单，且密封性能好，

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114797518 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210183890.9 (22)申请日 2022.02.25 (71)申请人 南京华易泰电子科技有限公司 地址

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