原创力文档- 7
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- 2023-05-17 发布于四川
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本发明提出了一种柔性纳米金刚石基温度传感器及其制备方法，所述温度传感器，包括从下到上依次设置的衬底、叉指电极和纳米金刚石层，纳米金刚石层由粒径3‑5nm的纳米金刚石颗粒旋涂而成，衬底为聚对苯二甲酸二乙酯衬底，所述温度传感器以电流值标定温度，温度测量范围为30‑100℃。本发明利用纳米金刚石设制备出柔性纳米金刚石基温度传感器，在30‑100℃下能够稳定工作，而且制备方法简单，成本低。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114812840 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210343138.6
(22)申请日 2022.03.31
(71)申请人 郑州大学
地址 450001 河
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