一种高集成度MEMS相对重力仪.pdfVIP

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2023-05-17 发布于四川
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一种高集成度MEMS相对重力仪.pdf

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本发明公开了一种高集成度MEMS相对重力仪，集成有重力敏感单元、温度传感单元、加热电阻、面外倾斜传感单元、面内倾斜传感单元、气压传感单元和振动传感单元；温度传感单元感知MEMS相对重力仪的温度变化；加热电阻对重力敏感单元进行加热，实现对重力敏感单元的温度控制；面外倾斜传感单元敏感重力敏感单元面外倾斜大小；面内倾斜传感单元敏感重力敏感单元面内倾斜大小；气压传感单元感知气压变化，辅助气压控制或实现气压效应扣除；振动传感单元感知环境振动，并辅助隔振或实现振动信号扣除。本发明利用微加工精度实现重力敏感单

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116009102 A (43)申请公布日 2023.04.25 (21)申请号 202211685904.3 (22)申请日 2022.12.27 (71)申请人华中科技大学地址 430074