晶圆缺口检测装置及其检测方法.pdfVIP

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2023-05-17 发布于四川
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晶圆缺口检测装置及其检测方法.pdf

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本发明提供一种晶圆缺口检测装置及其检测方法，该检测装置由上向下依次包括：光源、第一透镜、暗场环及第二透镜，还包括图像反馈系统及第三透镜；光源发出的光经第一透镜收缩为平面光，暗场环上设置有透光环槽，平面光经透光环槽形成为环形光源；环形光源经第二透镜收缩照射至待测晶圆上；第三透镜用于收集自待测晶圆边缘的反射光；图像反馈系统用于接收反射光并成像。本发明的检测装置，利用暗场原理增强晶圆缺角图像的对比度，使原本暗弱的细节凸显，进而获得待测晶圆的缺口，对缺口的检测不受限于缺口的位置，有效提高缺口的检测精度；

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114791430 A (43)申请公布日 2022.07.26 (21)申请号 202210714697.3 (22)申请日 2022.06.23 (71)申请人广州粤芯半导体技术有限公司地址