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硅片切割方法及电池.pdfVIP

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  • 2023-05-17 发布于四川
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硅片切割方法及电池.pdf

    本发明涉及硅片切割方法及电池。该硅片切割方法采用激光对硅片进行切割，且在进行所述切割的同时，对所述硅片的切割位置进行喷雾处理，得到切割后的硅片；所述喷雾处理采用喷雾试剂包括过氧化氢溶液；将所述切割后的硅片置于氢氟酸溶液中进行浸泡；或对所述切割后的硅片的切割面进行等离子刻蚀处理，所述等离子刻蚀处理采用的等离子源选自氟取代的C1～C20烷烃和氟取代的C2～C20烯烃中的至少一种。该方法能消除激光切割面的凹凸、毛刺、锯齿边等切割异常的部分，能够使得切割面光滑平整。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823317 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210319380.X (22)申请日 2022.03.29 (71)申请人 通威太阳能（安徽）

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