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2023-05-18 发布于北京
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光刻胶涂布系统.pdf

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本申请公开了一种光刻胶涂布系统，包括：光刻胶容器，用于盛放光刻胶；过滤器，与所述光刻胶容器通过管道相连接；第一泵，为隔膜泵，与所述过滤器通过管道相连接；喷涂装置，与所述第一泵通过管道相连接；控制装置，分别与所述第一泵电连接，用于控制所述第一泵。本公开实施例提供的光刻胶涂布系统，采用隔膜泵，隔膜泵容量可调，可根据所需要的光刻胶的量调整隔膜泵容量，使隔膜泵内的光刻胶等于一次所需要的光刻胶的量，避免在残留在泵内产生凝胶，当进行光刻胶安装或去除凝胶等缺陷时增加隔膜泵存储容量，以最大流量进行冲洗，其喷出光

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114859658 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 202110155822.7 (22)申请日 2021.02.04 (71)申请人中国科学院微电子研究所地址 10