一种接片槽、金刚线切片机及大尺寸硅棒的切割方法.pdfVIP

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2023-05-18 发布于北京
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一种接片槽、金刚线切片机及大尺寸硅棒的切割方法.pdf

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本发明涉及金刚线切片机技术领域，具体涉及一种接片槽、金刚线切片机及大尺寸硅棒的切割方法，金刚线切片机包括左右两个切割主辊和接片槽，接片槽包括用于盛装冷却液且设置在两个切割主辊之间的槽本体，槽本体包括左右布置的两个槽侧壁以及连接在两个槽侧壁之间的槽底壁，槽本体内于两个槽侧壁上分别固定有侧壁超声震板，槽本体内于槽底壁上固定有底壁超声震板。本发明提供的金刚线切片机以及大尺寸硅棒的切割方法，切割力更强，硅片的TTV、线痕等异常显著低于常规方法；在切割过程中断线率也显著下降，提升了切割效率并降低了用线量，

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114851413 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 202210307279.2 (22)申请日 2022.03.25 (71)申请人河南科技大学地址 471023