原创力文档- 7
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- 2023-05-18 发布于四川
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本申请实施例提供了一种顶针机构及半导加工设备。该顶针机构包括弹性套筒、固定套筒、中心导杆及顶针；弹性套筒设置在中心导杆的顶部，中心导杆的顶部设置有容置顶针端部的容置孔；顶针的端部可穿过弹性套筒延伸至容置孔；固定套筒套设于弹性套筒和中心导杆的顶部的外侧；顶针的端部具有卡合面和释放面，通过旋转顶针使卡合面或释放面与弹性套筒相接触，使弹性套筒产生弹性变形以卡固或者释放顶针。本申请实施例可以有效避免顶针与中心导杆之间发生移动，从而可以有效防止顶针的上端面高于卡盘基座表面与晶圆接触，进而可以提高工艺速率以
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 111063654 A
(43)申请公布日
2020.04.24
(21)申请号 20191
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