基于并行注意力补偿机制的FPN晶圆表面缺陷检测方法.pdfVIP

下载本文档

0
0
约1.33万字
约 13页
2023-05-18 发布于北京
举报
版权申诉

基于并行注意力补偿机制的FPN晶圆表面缺陷检测方法.pdf

1、本文档共13页，其中可免费阅读12页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了基于并行注意力补偿机制的FPN晶圆表面缺陷检测方法，包括：1）基于ResNet网络进行晶圆特征提取；2）融合注意力的特征图金字塔网络A‑FPN对特征图进行细分化；3）基于K‑means聚类改进锚框的大小生成；4）得到候选区域进行分类及回归。本发明融合注意力的改进的FPN来抑制复杂的电路图案背景，避免了微小缺陷的误检和漏检；对于高层特征通道融合空间注意力机制，对存在明显的缺陷区域赋予更大权重；对于底层通道融合通道注意力机制，对位置以及轮廓信息之外的通道减小其权重，实现并行融入FPN结构

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114820580 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210588526.0 G06V 10/762 (2022.01)