基于反射光谱的激光器参数自动调控方法.pdfVIP

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2023-05-18 发布于北京
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基于反射光谱的激光器参数自动调控方法.pdf

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基于反射光谱的激光器参数自动调控方法，涉及激光加工和自动化控制领域。该方法可在靶材被激光消融之前，精准调试出适合该靶材加工的激光参数。根据激光频率及通讯频率自定义光谱积分参数，采集激光消融多组分靶材过程中的反射光谱数据；提取光谱特征参数，以95％置信区间为标准建立光谱特征参数与此时待消融靶材所需激光参数的主成分回归模型；当激光消融过程中暴露出待去除靶材时，重复前述步骤，再次调试出适用于新靶材消融的激光参数；在激光消融过程中根据反射光谱数据对激光参数进行实时闭环调控，实现靶材的高度选择性、无损去除

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114850658 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 202210531991.0 (22)申请日 2022.05.17 (71)申请人北京工业大学地址 100124