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- 2023-05-18 发布于四川
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一种物理气相沉积系统可包括RF发生器，该RF发生器被配置为经由RF匹配网络将交流工艺信号传输到物理气相沉积室。RF匹配网络的控制器被配置为接收直流幅度和相位误差信号，并且响应于直流幅度和相位误差信号来改变RF匹配网络的阻抗。匹配网络在第一模式下操作，直到确定调谐死区。一旦确定了调谐死区，匹配网络就在附加模式下操作，直到网络被调谐。控制器使用幅度和相位误差的合成值来驱动可变调谐和负载电容器。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 111699542 A
(43)申请公布日
2020.09.22
(21)申请号 20188
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