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- 2023-05-18 发布于四川
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本发明提供一种有机膜形成装置，其对涂布有含有有机材料和溶剂的溶液的基板进行热损失较少且蓄热效率较高的加热，能够形成有机膜。具备：腔，可维持比大气压更被减压的环境；排气部，可对所述腔的内部进行排气；第1加热部，设置在所述腔的内部，具有第1加热器；第2加热部，具有第2加热器；第1均热板；第2均热板；溶液，含有涂布于所述基板的上面的有机材料和溶剂；处理区域，支撑有工件；及第1反射板，设置在所述腔的内部，所述第1均热板及所述第2均热板向所述处理区域侧放射从所述第1加热器及所述第2加热器射入的热，所述第1
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 110391132 A
(43)申请公布日
2019.10.29
(21)申请号 20191
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