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- 2023-05-18 发布于四川
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本发明提出了一种碳化硅的制备方法及应用，所述制备方法至少包括以下步骤：将液态有机硅烷进行氯化处理；将氯化后的有机硅烷接枝光敏基团，得到改性溶液；用紫外光照射所述改性溶液至固化成型，得到片状有机硅烷；以及将所述片状有机硅烷进行升温加热，得到碳化硅。本发明提供一种碳化硅的制备方法，能有效提高碳化硅晶体的质量。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114836825 A
(43)申请公布日 2022.08.02
(21)申请号 202210635497.9
(22)申请日 2022.06.07
(71)申请人 中电化合物半导体有限公司
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