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一种柔性功率放大器及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-05-18 发布于四川
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一种柔性功率放大器及其制备方法.pdf

    本发明属于柔性微波集成电路领域，具体为一种柔性功率放大器及其制备方法，在结构上，通过在晶体管芯片衬底层上表面设电阻层，且电阻层与晶体管芯片功能层之间通过第一图形化薄膜金属层相连，提升了工作稳定性；通过在柔性介质层中的图形化刻蚀槽设计，提高了第二图形化薄膜金属层与柔性介质层之间的粘附力，增强了第二图形化薄膜金属层的弯折能力，提高了复杂环境的适应性，并拓宽了其在工程上的应用范围。在制备工艺上，采用仅去除晶体管芯片部分高热导率衬底的方式，在保证其柔性的同时保留了一定的散热能力，提升了器件的输出功率。本

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116130468 A (43)申请公布日 2023.05.16 (21)申请号 202310325254.X (22)申请日 2023.03.30 (71)申请人 电子科技大学

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