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本发明提供了一种磁性薄膜核心结构、磁敏传感单元及磁场测量方法,磁性薄膜核心结构包括逐层生长在基片之上的缓冲层、第一磁层、绝缘势垒层、第二磁层、自旋轨道耦合层、偏置层和覆盖层;所述第一磁层具有自发平行于基片平面的磁化矢量;所述第二磁层具有自发垂直于基片平面的磁化矢量;所述第二磁层的磁化强度垂直于膜面时的矫顽力大于第一磁层的难轴的饱和场;所述绝缘势垒层、第二磁层和自旋轨道耦合层构成自旋轨道转矩结构。本发明优点:加工简单,能够提高器件集成度,降低成本和功耗,且可以提高器件稳定性和使用寿命。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114864809 A
(43)申请公布日 2022.08.05
(21)申请号 202210282611.4 H01L 43/10 (2006.01)
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