- 1、本文档共11页,其中可免费阅读10页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本申请提供了一种等离子体源系统及其使用方法,属于等离子体刻蚀技术领域,具体包括反应腔主体;位于所述反应腔主体上方的感性耦合射频单元,所述感性耦合射频单元用于产生进入所述反应腔主体参加反应的等离子体;所述反应腔主体内设有支撑平台和位置可调的腔体保护环,所述支撑平台用于放置晶圆,所述腔体保护环环绕所述反应腔主体的内壁进行设置且位于所述支撑平台的周围,所述腔体保护环沿圆周方向设有多个磁性件,所述磁性件用于调节所述晶圆边缘的等离子体密度。通过本申请的处理方案,提高了晶圆表面刻蚀速率的均匀性,以及对反应腔
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114864368 A
(43)申请公布日 2022.08.05
(21)申请号 202210299145.0
(22)申请日 2022.03.25
(71)申请人 上海谙邦半导体设备有限公司
地址
您可能关注的文档
- 一种建筑工程施工用余料废料环保回收装置.pdf
- 一种机动车尾气的采集装置.pdf
- 驾驶室顶盖及冷藏车.pdf
- 一种用于净化水体的微生物养殖设备.pdf
- 视频表征方法及装置.pdf
- 一种发动机缸盖气道芯随型抽芯棒及排气工艺.pdf
- 一种基于多阶微积分融合的地震数据提频方法.pdf
- 一种用于3D打印中的保护气装置出气口连接防破损组件.pdf
- 一种多酸衍生低铂载量析氢电催化剂的制备方法.pdf
- 一种3D打印耗材烘干盒.pdf
- 分析let s单元56ago2卷纸zheng unit56.pdf
- 塑胶材料其它分类原料pa9t 12.pdf
- md16x16数字媒体切换器设备.pdf
- 者参考项目发起人学科类型单位序列承包商修订页代码顺序典型.pdf
- 届世界天然气大会阿姆斯特丹2006add10288.pdf
- 期测试记录表每周weekly g1g6 journeys tests level 6 lesson26.pdf
- modernize-whitepaper现代化您应用程序白皮书.pdf
- anybackup产品典型案例分析.pdf
- 约克金融工程课程tfeslide32.pdf
- 广州市妇女儿童医疗中心历份教学药历01tjy.pdf
提供农业、铸造、给排水、测量、发电等专利信息的免费检索和下载;后续我们还将提供提供专利申请、专利复审、专利交易、专利年费缴纳、专利权恢复等更多专利服务。并持续更新最新专利内容,完善相关专利服务,助您在专利查询、专利应用、专利学习查找、专利申请等方面用得开心、用得满意!
文档评论(0)