用于沉积膜的方法.pdfVIP

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2023-05-18 发布于北京
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用于沉积膜的方法.pdf

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本发明公开了一种用于将膜沉积到衬底的表面特征中的原子层沉积方法。所述方法可以包括将具有表面特征的衬底放置到反应器中的步骤。有机钝化剂可引入所述反应器中，其可与表面特征内的一部分暴露的羟基反应。随后，可以吹扫未反应的有机钝化剂，并且然后可以引入前体。前体可与未与有机钝化剂相互作用的剩余的暴露羟基反应。随后，可以吹扫未反应的前体，并且可以将氧源或氮源引入所述反应器中以在表面特征内形成膜。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114867888 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 202080090123.2 M ·B ·拉奥　 (22)申请日 2020.12.22