晶圆清洗设备及其晶圆清洗方法.pdfVIP

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2023-05-18 发布于北京
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晶圆清洗设备及其晶圆清洗方法.pdf

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本发明提供一种晶圆清洗设备，包括晶圆传送组件、工艺传输机构和干燥传输机构，晶圆传送组件用于取出晶圆盒中的待清洗晶圆或将已干燥晶圆放回晶圆盒中；工艺传输机构用于将晶圆传送组件获取的待清洗晶圆传入晶圆清洗模块中清洗，并用于将晶圆清洗模块的已清洗晶圆传入干燥模块中干燥；干燥传输机构用于在干燥模块中承载已清洗晶圆并将已干燥晶圆传输至晶圆传送组件。在本发明中，工艺传输机构仅用于将晶圆传入晶圆清洗模块中以及传入干燥模块中，已干燥晶圆由干燥传输机构传输至晶圆传送组件，既节省了工艺传输机构传输待干燥的晶圆及进行

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114864444 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 202210493051.7 (22)申请日 2022.05.07 (71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司地址