原创力文档- 3
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- 2023-05-18 发布于四川
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本发明公开了一种退火加热加湿装置，包括：封闭的退火腔体，退火腔体用于待处理件退火；加热板，加热板贴附在退火腔体的底端端面上，用于加热退火腔体，加热板上开设有至少1个加热通道；汽液加热循环装置，汽液加热循环装置的第一出口与加热通道的入口连通，汽液加热循环装置的入口与加热通道的出口连通；设置有开关阀的排汽管，排汽管的入口与汽液加热循环装置的第二出口连通，排汽管的入口与退火腔体的入口连通，用于输入汽液加热循环装置的蒸汽到退火腔体内。本发明提供的退火加热加湿装置，便于调节退火所需的温度及湿度。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114838591 A
(43)申请公布日 2022.08.02
(21)申请号 202210635683.2 F27D 21/00 (2006.01)
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