一种大尺寸外延层及其剥离方法和剥离装置.pdfVIP

下载本文档

0
0
约1.29万字
约 11页
2023-05-18 发布于北京
举报
版权申诉

一种大尺寸外延层及其剥离方法和剥离装置.pdf

1、本文档共11页，其中可免费阅读10页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明涉及一种大尺寸外延层及其剥离方法和剥离装置，该剥离方法基于键合至目标衬底上的生长衬底，生长衬底包含重掺杂层和目标层，在生长衬底的边缘四周刻蚀至重掺杂层形成第一凹槽，在第一凹槽中形成导电环层与工作电极接触，在距离第一凹槽一定距离处刻蚀至重掺杂层形成第二凹槽，第二凹槽用于注入适量的电解质溶液，电化学腐蚀获得异质集成于目标衬底上的大尺寸外延层。相应地，该剥离装置设置有导电垫圈、容液腔和位于导电垫圈和容液腔之间的密封圈。该剥离方法和剥离装置能够在减少电极参与电解带来的电子泄露的同时，缩短了电流传输

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114864402 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 202210478326.X C25F 3/14 (2006.01)