一种纳米硅浆料的高效清洗方法及系统.pdfVIP

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2023-05-18 发布于北京
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一种纳米硅浆料的高效清洗方法及系统.pdf

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本发明提供了一种纳米硅浆料的高效清洗方法及系统，具体步骤包括：1）将待清洗硅片放入有机溶液中，进行超声波清洗；2）第一次纯水清洗；3）Piranha溶液清洗；4）第二次纯水清洗；5）SC溶液清洗；6）第三次纯水清洗；7）氢氟酸槽清洗；8）第四次纯水清洗；9）慢提拉及烘干处理后，取出硅片。本发明所涉及的方法结合化学清洗原理和物理清洗作用，在较短的时间内即可完成，根据衬底表面不同的污染物类型，具有针对性的分步设计、循环处理衬底表面污染物；清洗后的衬底表面洁净度高，表面粗糙度小，提高金属离子的去除率，

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114864744 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 202210480560.6 (22)申请日 2022.05.05 (71)申请人普乐新能源科技（徐