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本发明涉及工业自动化系统控制检测技术领域，提出一种晶圆盒状态检测方法及其装置、电子设备、存储介质。待测晶圆盒设有待测容仓，晶圆盒状态检测方法包括：获取检测指令，根据检测指令控制阻挡感应器对待测容仓中的晶圆进行检测；根据阻挡信号的信号变化时间点与阻挡感应器的运动参数，得到与各个信号变化时间点对应的阻挡位置信息；将阻挡位置信息与预设阻挡信息进行比对；当阻挡位置信息与预设阻挡信息不匹配，判定待测晶圆盒内部的晶圆放置状态存在异常。本发明利用阻挡感应器的原理，检测位于待测晶圆盒中待测容仓内的晶圆所产生的阻
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114864438 A
(43)申请公布日 2022.08.05
(21)申请号 202210338943.X
(22)申请日 2022.04.01
(71)申请人 深圳众为兴技术股份有限公司
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