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- 2023-05-18 发布于四川
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提供了利用电介质击穿法在固态膜中形成孔隙的方法和设备。在一种所公开的布置中，所述膜包含位于膜一侧的第一表面区域部分和位于膜另一侧的第二表面区域部分。膜的第一表面区域部分与包含离子溶液的第一浴槽接触。第二表面区域部分与包含离子溶液的第二浴槽接触。通过与包含离子溶液的第一和第二浴槽分别接触的第一和第二电极施加跨膜电压，以在膜中形成孔隙。在所述膜与所述第一或第二电极之间提供串联的限流电阻器。所述限流电阻器的电阻比所述孔隙形成之后的任何时间时的所述孔隙的电阻高至少10％。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113274888 A
(43)申请公布日 2021.08.20
(21)申请号 202011124835.X B01D 69/06 (2006.01)
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