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本申请公开了一种三轴陀螺仪及转角识别装置,三轴陀螺仪包括衬底、两个Y轴检测模块和四个X/Z轴检测模块;第一X/Z轴检测模块和第二X/Z轴检测模块之间弹性连接,第三X/Z轴检测模块和第四X/Z轴检测模块之间弹性连接,第一Y轴检测模块和第二Y轴检测模块之间弹性连接;第一Y轴检测模块位于第一X/Z轴检测模块和第三X/Z轴检测模块之间;第二Y轴检测模块位于第二X/Z轴检测模块和第四X/Z轴检测模块之间;在检测过程中,第一X/Z轴检测模块和第二X/Z轴检测模块用于沿Y方向进行方向相反的谐振运动,第三X/Z
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114838719 A
(43)申请公布日 2022.08.02
(21)申请号 202210292160.2
(22)申请日 2022.03.22
(71)申请人 宁波奥拉半导体股份有限公司
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