一种用于晶圆AOI检测的紫外-可见显微物镜光学系统.pdfVIP

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2023-05-18 发布于北京
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一种用于晶圆AOI检测的紫外-可见显微物镜光学系统.pdf

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本发明公开了一种用于晶圆AOI检测的紫外‑可见显微物镜光学系统，沿其光轴方向，从物方到像方依次包括第一透镜组、第二透镜组以及第三透镜组；第一透镜组包含具有正光焦度的第一透镜、具有正光焦度的第二透镜和具有正光焦度的第三透镜，第二透镜组包含具有正光焦度的第四透镜、具有正光焦度的第五透镜、具有负光焦度的第六透镜、具有正光焦度的第七透镜、具有负光焦度的第八透镜、具有正光焦度的第九透镜以及具有负光焦度的第十透镜，第三透镜组包含具有正光焦度的第十一透镜、具有正光焦度的第十二透镜、具有负光焦度的第十三透镜、具

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114859540 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 202210563014.9 (22)申请日 2022.05.23 (71)申请人苏州瑞霏光电科技有限公司地址 2