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- 2023-05-18 发布于四川
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本发明提供一种在减压干燥装置中以与期望的减压速度更接近的减压速度来进行减压处理的减压干燥装置、基板处理装置及减压干燥方法。所述减压干燥装置通过在腔室内收容附着有处理液的基板并对腔室内进行减压，而使基板干燥。减压干燥装置具有腔室、减压排气部、对减压排气的流量进行调节的阀、对腔室内的压力进行测量的测量部及控制部。控制部的动作控制部包括：初始开度设定部，在各处理期间的起点将阀开度设为基准开度；以及反馈控制部，基于测量部所测量的测量压力值进行包含比例控制的反馈控制。反馈控制部在进行使阀开度大于基准开度的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 110310904 A
(43)申请公布日
2019.10.08
(21)申请号 20181
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