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本发明提供一种温控装置及半导体工艺设备,温控装置应用于半导体工艺设备,用于对介质窗的温度进行控制,温控装置包括换热结构、循环部件和温控组件,其中,换热结构设置于介质窗上,且在介质窗上的正投影呈渐开线状;循环部件与换热结构连通,用于向换热结构中输送换热介质,换热介质能够在换热结构和循环部件中循环并与介质窗进行热交换;温控组件设置于循环部件上,用于控制换热介质的温度。本发明提供的温控装置及半导体工艺设备,能够提高介质窗的温度均匀性,避免介质窗的损坏,并能够提高对介质窗的控温效率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114895728 A
(43)申请公布日 2022.08.12
(21)申请号 202210480887.3
(22)申请日 2022.05.05
(71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司
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