采用侧蚀工艺制作精细线路.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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采用侧蚀工艺制作精细线路.pdf

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本发明公开了涉及精细线路技术领域，具体为采用侧蚀工艺制作精细线路，覆膜：选取完整无褶皱的铜膜基板，在铜膜基板的背面采用覆膜机附上保护膜，保护膜用于保护铜膜基板的背面，防止在加工的过程中铜膜基板的背面发生划伤等现象；上本发明的有益效果是：通过先在铜膜基板的上表面覆盖一层抗蚀剂，再通过曝光把菲林上的线路图形转移到铜膜基板上，使铜膜基板的上表面按照图形的形状生成光化学反应的聚合物，通过光化学反应的聚合物对图形下的铜膜进行保护，在蚀刻液腐蚀铜膜基板时，有抗蚀剂保护的铜面不会被腐蚀，从而形成精细导电线路，

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114867219 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 202210643529.X (22)申请日 2022.06.08 (71)申请人深圳市志凌伟业技术股份有限公司地址