- 1、本文档共12页,其中可免费阅读11页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供一种LDMOS器件及其制备方法。方法包括步骤:S1:提供半导体衬底,形成第一浅沟槽和第二浅沟槽;S2:形成填充于第一浅沟槽内的隔离结构、栅极结构和P型体区和;S3:形成侧墙;S4:进行离子注入,以形成N型源区和P型源区;S5:形成位于N型源区、P型源区和栅极结构表面的导电材料层以得到预处理结构;S6:形成覆盖预处理结构的层间介质层,于层间介质层中形成若干接触孔,分别与N型源区、P型源区和栅极结构表面的导电材料层电连接。采用本发明,可省去大部分单独形成P型体区沟槽所需的工艺步骤,降低了工
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114883266 A
(43)申请公布日 2022.08.09
(21)申请号 202210345479.7
(22)申请日 2022.03.31
(71)申请人 上海积塔半导体有限
您可能关注的文档
- 一种纤维束SHTB动态拉伸试验方法.pdf
- 一种面向安全性的AFDX交换机信用动态管理系统及方法.pdf
- 一种基于通用扰动贴纸的对抗样本检测方法及装置.pdf
- 业务链路视图布局方法及相关设备.pdf
- 一种基于数字孪生的钣金件无痕修复装置及工作方法.pdf
- 一种针对图像分类的两阶段对抗防御方法及系统.pdf
- 一种基于网络演算的卫星时间敏感网络路径选择方法.pdf
- 一种防治果树炭疽病的复合微生物菌剂及其制备方法和应用.pdf
- 一种榨菜头智能剥皮生产线及其方法.pdf
- 用于极化编码的方法、装置和设备.pdf
- Unit 5 The colourful world Period 4 Part B Let’s talk & Draw and say 课件(共25张PPT)1(2024年完整版).pptx
- 湘科版(2024)科学三年级下册6-1我们衣服的材料(课件)(共20张PPT+视频).pptx
- 湘科版(2024)科学三年级下册2.3水的沸腾(课件)(共15张PPT+视频)15.pptx
- 人教版生物学七年级下册第四单元第4章人体内物质的运输练习题(含答案).docx
- 人教版七年级上册数学第五章一元一次方程解方程应用题(水费电费问题)专题训练(含解析)(2024年)新版教材.docx
- 认识立体图形课件第2课时(共20张PPT)西师大版一年级上册(2024)数学.pptx
- 人教版数学七年级上册 第2章 整式的加减 单元设计(2024年)新版教材.doc
- 19只有一个地球课件(共19张PPT).pptx
- 第4课 日本明治维新 课件(27张PPT).pptx
- 实验教学在初中物理课程中的必要性教学研究课题报告.docx
提供农业、铸造、给排水、测量、发电等专利信息的免费检索和下载;后续我们还将提供提供专利申请、专利复审、专利交易、专利年费缴纳、专利权恢复等更多专利服务。并持续更新最新专利内容,完善相关专利服务,助您在专利查询、专利应用、专利学习查找、专利申请等方面用得开心、用得满意!
文档评论(0)