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一种可调光学滤波器件,器件包括设置有第一布拉格反射器(3)的第一衬底(2)和设置有第二布拉格反射器(7)的第二衬底(8),第一布拉格反射器(3)和第二布拉格反射器(7)的表面的外围通过键合物相互键合以在两布拉格反射器之间形成腔体,第一布拉格反射器(3)与键合物之间设置有第一电极(4),第二布拉格反射器(7)在腔体内设置有与第一电极(4)相对的第二电极(6)。该可调光学滤波器件,体积小便于加工和组装,可以推广应用于手机、手持高光谱相机等小型高光谱光学设备上。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114902092 A
(43)申请公布日 2022.08.12
(21)申请号 201980102490.7 (74)专利代理机构 厦门福贝知识产权代理事务
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