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一种电光器件,包括衬底和在衬底上的波导。该波导包括层堆叠,该层堆叠包括与多个中间层交错的多个电光材料层、与层堆叠相邻的波导芯、波导覆层以及与所述多个电光材料层电接触的一对电极。所述多个中间层在室温和制冷温度下保持第一晶格结构。所述多个电光材料层在室温和制冷温度下保持第二晶格结构和结晶相。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114902130 A
(43)申请公布日 2022.08.12
(21)申请号 202080091275.4 (74)专利代理机构 华进联合专利商标代理有限
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