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提出了制造波导模块的方法,其包括提供具有第一和第二基本平坦的平行表面且包含第一排列中的一个或多个单元的玻璃基板,以及切割所述玻璃基板以生产一个或多个单片化单元的步骤。用化学药剂处理单片化单元,将其层压到载体基板上处理,并从载体晶片上分层,并且随意进行进一步处理。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114902101 A
(43)申请公布日 2022.08.12
(21)申请号 202080088713.1 (74)专利代理机构 北京市中联创和知识产权代
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