一种适用于化学清洗的半自动化清洗线.pdfVIP

下载本文档

0
0
约8.3千字
约 8页
2023-05-19 发布于北京
举报
版权申诉

一种适用于化学清洗的半自动化清洗线.pdf

1、本文档共8页，其中可免费阅读7页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明涉及气体扩散器清洗领域，具体公开了一种适用于化学清洗的半自动化清洗线，其包括：清洁线体、高压清洗室和自检平台；所述清洁线体包括清洁室，所述清洁室内依次设置有超声脱脂槽、碱洗槽、酸蚀槽、酸洗槽和超声热水洗槽，且相邻之间设置有水洗槽；所述高压清洗室设在清洁线体的一侧，所述高压清洗室包括挂杆；所述自检平台设置在高压清洗室的一侧，所述自检平台包括自检室，所述自检室的一侧设置有多个挂设架，本发明通过设置清洁线体、高压清洗室和自检平台，能够对气体扩散器进行有效的清洁清理，并通过设置高压清洁线体，对残留

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114887982 A (43)申请公布日 2022.08.12 (21)申请号 202210573310.7 (22)申请日 2022.05.25 (71)申请人合肥升滕半导体技术